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提拉式长晶炉回收+海陵螺杆真空泵回收维修/保养

发布:2024/5/4 23:50:14 来源:shxj365


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这是单晶炉和拉晶工艺。为了配合di76.Zmm器件生产线的发展,我所研制了国内台15~30公斤的DL。78型单晶炉[‘],并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺[‘]。在控制大直径硅单晶的过程中,涉及的面比较广,尤其是从我国原有1公斤,th3orum级的基础上跳跃到12公斤,680mm硅单晶的拉制工艺,需要研究讨论的问题很多,例如,热场的设计。

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精度高,稳定性好。且具有以下特点:温度自动控制系统\电机调速控制系统\单晶直径自动控制系统\单晶熔体自动 系统\单晶重量及长度显示能\各拉晶有关参数包括籽晶轴,坩埚轴的转动速度,晶升和埚升速度,炉内压力,冷却部位温度等数据都采用数字显示仪表指示,两笔记录仪记录温度和籽晶拉速,能稳定的控制生长直径5~8英寸,直径均匀的无错位单晶。采用软籽晶轴,具有独特的晶体提升机构。的磁流体密封技术。能全电控系统采用微机控制新型翻板阀结构,拱形封头式炉盖结构,考虑热变形采用浮动提升结构,防止卡死现象。单晶提拉采用可承受150Kg不锈钢丝软轴,电控系统采用微机控制,红外测径技术,进口电动及驱动器,保生长大扭矩高稳定性。依据相对编号法,查到该所连接的另外设备的端子,然后再查出该端子所连接另外设备,直到查到直流电源的正负极或交流回路的火线和中性线为止。后把整个相关的回路都查出来,画成图后可分析连接是否符合动作原理。当想弄清展图上设备的位置时,则一是利用展图上的设备表的位置,然后去相应的图上查对。二是先弄清展图中的端子符号,哪些是屏柜端子排的端子。则从图中每个的设备端子上所标的编号如手上只有图或者发现图与展图的原理接线图无法对应时哪些是(保护或自动)装置的端子,然后直接去可能的屏柜,端子箱中查找。(7) 识图特殊问题的解决方法。

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